《亚博》华灿光电与澳企合作共探RPCVD技术应用

2019-07-08 11:25:53 浏览: 223次 作者:亚博

Australia公司BluGlass有限公司公布,它将与中国领先的LED芯片厂商华灿光电合作,摸索氮化铝(AlN)低温沉积在高亮度LED上的利用,并摸索RPCVD在绿色LED出产上的优势。经由过程该合作和谈,华灿光电将为BluGlass供给4英寸晶圆产物,并制造用在测试的LED器件。

华灿光电摸索RPCVD手艺用在LED出产

  经由过程该和谈,BluGlass筹算为华灿光电系统演示其具有本钱和机能优势的低温长途等离子体化学气相沉积(RPCVD)手艺,可用在绿色LED的p-GaN层低温沉积。该公司还打算摸索在蓝宝石衬底上采取氮化铝(AlN)低温沉积用在高亮度LED的制造。

  BluGlass 2015年从Australia悉尼麦考瑞年夜学三族氮化物部分自力出来以后,研发了一种在玻璃衬底上利用远距离等离子低压化学气相沉积(RPCVD)氮化镓(GaN)和氮化镓铟(InGaN)等材料的低温工艺。此工艺出产的发光二级管(LED)和太阳能电池具有节流本钱、吞吐量年夜和效力高档优势。BluGlass具有该项手艺在美国、中国、欧洲和日本等首要半导体市场的专利权。

  而华灿光电是中国闻名的LED芯片制造商,公司致力在研发、出产、发卖以GaN基蓝、绿光系列产物为主的高质量LED外延材料与芯片,具有国际领先的手艺研发能力和成熟的出产工艺。

  据悉,两家公司估计成长需要若干次迭代以演示其机能的能力。华灿将利用BluGlass的新RPCVD腔室设计,以提高PRCVD沉积的平均性用来制造LED。华灿估计在将来几个月内拜托BluGlass打造RPCVD装备,两边将联袂合作,改良工艺,促使BluGlass系统可以或许以低本钱制造高效力高亮度的绿色和白色LED。

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