《亚博》上海芯元基研发出化学腐蚀剥离生长LED衬底新技术

2019-07-09 07:02:21 浏览: 461次 作者:亚博

近日,上海芯元基半导体科技有限公司成功开辟出了合适年夜范围量产的化学侵蚀剥离外延层发展衬底的新手艺,可以用来建造垂直布局的GaN基电子功率器件和高端薄膜布局的LED芯片。该手艺降服了激光剥离手艺的诸多错误谬误,解决了困扰财产界多年的产物良率和本钱等问题。

  与激光剥离手艺比拟,上海芯元基的化学剥离手艺具有以下特点:一:工艺简单,本钱低,合适年夜范围量产;2、避免了激光剥离进程中激光能量和冲击对外延层的毁伤;3、连系MEMS手艺,先剥离,再键合,完全释放器件外延布局中的应力。

  据领会,上海芯元基由以郝繁茂博士为焦点的LED行业资深专家在2014年10月建立,公司专注在具有自立常识产权和庞大财产前景的第三代半导体(GaN)材料和高端薄膜布局LED芯片的研发和量产,已完成了从发展衬底、外延手艺、芯片工艺、到器件封装全财产链的专利结构,打破了国际巨子对GaN基电子器件和薄膜布局LED芯片的手艺垄断,对成长我国第三代半导体材料手艺意义重年夜。

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